Sondenmarkierungsleser und Sondenmarkierungsleseverfahren

EP1557876 Art A1 27. Juli 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1557876
Aktenzeichen: EP03754153
Anmeldetag: 16. Oktober 2003
Veröffentlichung: 27. Juli 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28G01R31/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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