Sondeneinrichtung, die die Temperatur des zu Untersuchenden Objekts Steuert, Undsondenuntersuchungsverfahren
EP1557877
Art A1
27. Juli 2005
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1557877
- Aktenzeichen
- EP03808857
- Anmeldetag
- 25. Juli 2003
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01R31/28G01R1/067
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Vertreten von
Gleiss, Alf-Olav
Stuttgart, Deutschland
424
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Fachgebiete
15
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