Zweischichtiger Film für Damaszene Sperrschichtverwendung der Nächsten Generation mit Guter Oxydationsbeständigkeit
EP1558784
Art A2
3. August 2005
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1558784
- Aktenzeichen
- EP03773166
- Anmeldetag
- 7. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 3. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/32C23C16/02H01L21/314H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
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