Herstellungsverfahren für eine Bruchzone in einem Substrat durch Koimplantation
EP1559138
Art B1
21. April 2010
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1559138
- Aktenzeichen
- EP03767871
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 21. April 2010
- Erteilung
- 21. April 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/762H01L21/265
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bonnans, Arnaud
Boulogne, Frankreich
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9
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Schwerpunkte