Verfahren zur Bestimmung Derpunktdefektverteilung eines Siliciumeinkristallstabs

EP1559812 Art B1 15. Dezember 2010

Anmelder: SUMCO CORPORATION, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1559812
Aktenzeichen
EP03756681
Anmeldetag
17. Oktober 2003
Veröffentlichung
15. Dezember 2010
Erteilung
15. Dezember 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/06G01N27/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
SUMCO CORPORATION
Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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