Zusammensetzung zur Bildung einer Antireflexschicht für die Lithographie

EP1560070 Art B1 30. Dezember 2009

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1560070
Aktenzeichen: EP03751376
Anmeldetag: 8. Oktober 2003
Veröffentlichung: 30. Dezember 2009
Erteilung: 30. Dezember 2009
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11G03F7/09C07D251/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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