T-Gate Herstellung

EP1560260 Art A1 3. August 2005

Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials, LLC, ASML Netherlands B.V., Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1560260
Aktenzeichen
EP05250471
Anmeldetag
28. Januar 2005
Veröffentlichung
3. August 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Rohm and Haas Electronic Materials, LLC
ASML Netherlands B.V.
Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C.
Land
🇺🇸 USA
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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