Hochdruckkompatibler Sauggreifer für Halbleiterwafer mit Hubmechanismus
EP1560680
Art A2
10. August 2005
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Supercritical Systems Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1560680
- Aktenzeichen
- EP03768590
- Anmeldetag
- 3. November 2003
- Veröffentlichung
- 10. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B25B11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Supercritical Systems Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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