Verfahren zur Atomschichtabscheidung

EP1561239 Art B1 27. April 2011

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1561239
Aktenzeichen
EP03783399
Anmeldetag
12. November 2003
Veröffentlichung
27. April 2011
Erteilung
27. April 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Micron Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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