Vorrichtung und Verfahren zur Abscheidung von Atomschichten

EP1561842 Art A3 29. Oktober 2008

Anmelder: Edwards Vacuum, Inc., BOC Edwards, Inc., THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1561842
Aktenzeichen
EP04258027
Anmeldetag
22. Dezember 2004
Veröffentlichung
29. Oktober 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/455C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Edwards Vacuum, Inc.
BOC Edwards, Inc.
THE BOC GROUP, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇬🇧 The BOC Group

The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.

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