Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP1562080
Art B1
29. August 2007
Anmelder: Koninklijke Philips Electronics N.V., ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1562080
- Aktenzeichen
- EP05250691
- Anmeldetag
- 8. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 29. August 2007
- Erteilung
- 29. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Koninklijke Philips Electronics N.V.
ASML Netherlands B.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Leeming, John Gerard
London, Großbritannien
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