Verfahren zum Entfernen von Oxiden von einer Germanium-Halbleitersubstratoberfläche

EP1562226 Art B1 20. Mai 2020

Anmelder: IMEC VZW, Umicore, IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1562226
Aktenzeichen
EP04447203
Anmeldetag
16. September 2004
Veröffentlichung
20. Mai 2020
Erteilung
20. Mai 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/02H01L21/311
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC VZW
Umicore
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Van Malderen, Joëlle Liège, Belgien
744
Patente gesamt
33
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Pharma & Biotechnologie Verfahrens- & Trenntechnik Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik
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