Verfahren zum Entfernen von Oxiden von einer Germanium-Halbleitersubstratoberfläche
EP1562226
Art B1
20. Mai 2020
Anmelder: IMEC VZW, Umicore, IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1562226
- Aktenzeichen
- EP04447203
- Anmeldetag
- 16. September 2004
- Veröffentlichung
- 20. Mai 2020
- Erteilung
- 20. Mai 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/02H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
Umicore
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
2.629 Patente in unserer Datenbank
🇩🇪
Umicore
Belgisches Materialtechnologie- und Recyclingunternehmen mit deutschem Verwaltungssitz, spezialisiert auf Edelmetalle, Katalysatoren und Batteriematerialien.
1.302 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
744
Patente gesamt
33
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte