Atomlagenabscheidung (ald) mit Hilfe von Metallamidinaten

EP1563117 Art B1 6. Januar 2010

Anmelder: President and Fellows of Harvard College, PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1563117
Aktenzeichen
EP03783541
Anmeldetag
14. November 2003
Veröffentlichung
6. Januar 2010
Erteilung
6. Januar 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/06C23C16/18C07F19/00C07C237/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
President and Fellows of Harvard College
PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Harvard University

US-amerikanische Elite-Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts. Harvard betreibt Forschung und Patentierung in zahlreichen Feldern, insbesondere Biotechnologie, Medizin, Life Sciences und Materialwissenschaften.

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