Antireflektierende Zusammensetzungen für Fotoresiste

EP1563343 Art B1 11. Januar 2012

Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., Clariant International Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1563343
Aktenzeichen
EP03775309
Anmeldetag
6. November 2003
Veröffentlichung
11. Januar 2012
Erteilung
11. Januar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/09G03F7/038
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
AZ Electronic Materials USA Corp.
Clariant International Ltd.
Land
🇺🇸 USA

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