Buchse für einen Substratträger

EP1564791 Art A3 9. August 2006

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1564791
Aktenzeichen: EP04026466
Anmeldetag: 8. November 2004
Veröffentlichung: 9. August 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00C23C16/458F16C29/04B65G49/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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