Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Gleichmaessigem Hochfrequenzplasma über einen Grossen Oberflaechenbereich

EP1564794 Art B1 6. Juli 2011

Anmelder: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD., Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1564794
Aktenzeichen: EP02777987
Anmeldetag: 29. Oktober 2002
Veröffentlichung: 6. Juli 2011
Erteilung: 6. Juli 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205C23C16/509

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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