Polierzusammensetzung und Spülzusammensetzung
EP1564797
Art B1
27. Juli 2016
Anmelder: FUJIMI INCORPORATED, Wako Pure Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1564797
- Aktenzeichen
- EP03810671
- Anmeldetag
- 7. November 2003
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2016
- Erteilung
- 27. Juli 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304C09K3/14H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FUJIMI INCORPORATED
Wako Pure Chemical Industries, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujimi
Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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Vertreten von
Neuefeind, Regina
München, Deutschland
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