Verfahren zum Bedampfen Bandfo Rmiger Substrate mit einer Tra Nsparenten Barriereschicht aus Aluminiumoxid

EP1565591 Art B1 10. Oktober 2007

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1565591
Aktenzeichen
EP03757995
Anmeldetag
16. Oktober 2003
Veröffentlichung
10. Oktober 2007
Erteilung
10. Oktober 2007
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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