Projektionslinse mit Unrunder Membran für die Mikrolithographie
EP1565769
Art A1
24. August 2005
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1565769
- Aktenzeichen
- EP02808146
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 24. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/00G03F7/20G02B17/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schwanhäusser, Gernot
Stuttgart, Deutschland
171
Patente gesamt
25
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte