Wässrige Dispersionsaufschlämmung für chemisch/mechanische Polierung und Verwendung in einem Polierverfahren

EP1566420 Art A1 24. August 2005

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1566420
Aktenzeichen
EP05001152
Anmeldetag
20. Januar 2005
Veröffentlichung
24. August 2005
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02H01L21/306H01L21/304C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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