EUV-Spektrometer und Methode zur Berechnung der EUV Intensität

EP1566663 Art A3 12. Dezember 2007

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1566663
Aktenzeichen: EP05003409
Anmeldetag: 17. Februar 2005
Veröffentlichung: 12. Dezember 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G01T1/29G01T1/36G01J3/00H05G2/00G01N23/207

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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