Herstellungsverfahren für ein Halbleitersubstrat, Herstellungsverfahren für einen Feldeffekttransistor sowie Halbleitersubstrat und Feldeffekttransistor

EP1566832 Art A1 24. August 2005

Anmelder: SUMCO CORPORATION, Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1566832
Aktenzeichen: EP02788701
Anmeldetag: 29. November 2002
Veröffentlichung: 24. August 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20H01L29/78H01L21/205H01L21/336

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SUMCO CORPORATION
Sumitomo Mitsubishi Silicon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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