Sensor zur Materialabscheidungsüberwachung und Verfahren zur Materialabscheidungsüberwachung
EP1567687
Art A1
31. August 2005
Anmelder: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1567687
- Aktenzeichen
- EP03783342
- Anmeldetag
- 12. November 2003
- Veröffentlichung
- 31. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Board of Trustees of the University of Illinois
Aufsichtsgremium der University of Illinois, USA, über das Patente aus der universitären Forschung verwaltet werden.
1.205 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
-
WP Thompson
WP Thompson · Liverpool
-
W.P. Thompson & Co
W.P. Thompson & Co · Liverpool