Verfahren zur Herstellung einer Silizidschicht, mehrschichtige Zwischenstruktur und mehrschichtige Struktur

EP1569266 Art A2 31. August 2005

Anmelder: National University Corporation Nagoya University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1569266
Aktenzeichen
EP04020632
Anmeldetag
31. August 2004
Veröffentlichung
31. August 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
National University Corporation Nagoya University
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National University Corporation Nagoya University

Japanische staatliche Universität mit umfangreicher Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin, unter anderem bekannt für Arbeiten zu LED-Technologie. Trägerin zahlreicher Patente aus Universitätsforschung in Japan.

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