Reinigungsmittel, Verfahren zur Reinigung eines Halbleitersubstrats und Verfahren zu Herstellung von Halbleiterbauelementen

EP1569267 Art A1 31. August 2005

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1569267
Aktenzeichen: EP05002697
Anmeldetag: 9. Februar 2005
Veröffentlichung: 31. August 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306C11D11/00C11D3/37B08B3/08B08B1/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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