System und Verfahren zur Plasmaverarbeitung und Elektrodenplatte für Plasmaverarbeitungssystem
EP1569268
Art A1
31. August 2005
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1569268
- Aktenzeichen
- EP03774215
- Anmeldetag
- 25. November 2003
- Veröffentlichung
- 31. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Gleiss Große Schrell und Partner mbB
Stuttgart, Deutschland
Stuttgarter Kanzlei, die Patentanwälte und Rechtsanwälte unter einem Dach vereint, registriert beim Deutschen Patent- und Markenamt sowie beim EUIPO in Alicante. Als Vertreter vor dem Einheitlichen Patentgericht zugelassen, mit Auslandsnetzwerken unter dem Motto „Your innovation is in good hands“.
2.133
Patente gesamt
5
Patentanwälte
1
Standorte