Herstellen von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) über ein Silizium-Hochtemperatur-Fusionsbonden von Scheiben
EP1569865
Art B8
18. Juni 2008
Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG, X-FAB Semiconductor Foundries GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1569865
- Aktenzeichen
- EP03782134
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 18. Juni 2008
- Erteilung
- 18. Juni 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00B81C3/00B81B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- X-FAB Semiconductor Foundries AG
X-FAB Semiconductor Foundries GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Vertreten von
Fricke, Joachim
München, Deutschland
26
Patente gesamt
20
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte