Verfahren zur Aufdampfung von Verbindung(en) auf einen Träger

EP1570103 Art A1 7. September 2005

Anmelder: BASF SE, BASF Aktiengesellschaft 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1570103
Aktenzeichen: EP03780090
Anmeldetag: 28. November 2003
Veröffentlichung: 7. September 2005
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/12H01L51/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: BASF SE
BASF Aktiengesellschaft
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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