Verfahren für das Herstellen eines Dielektrischen Stapels
EP1570525
Art B1
2. Dezember 2015
Anmelder: IMEC, ASM America, Inc., Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1570525
- Aktenzeichen
- EP03782011
- Anmeldetag
- 9. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 2. Dezember 2015
- Erteilung
- 2. Dezember 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316H01L29/51H01L29/49H01L29/43H01L21/318H01L21/314
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
ASM America, Inc.
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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