Verfahren zur Herstellung Mikromechanischer Bauteile unter Verwendung einer Polymerschicht und nach Diesem Verfahren Hergestellte Bauteile

EP1572578 Art A2 14. September 2005

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1572578
Aktenzeichen
EP03799623
Anmeldetag
18. Dezember 2003
Veröffentlichung
14. September 2005
Rechtsraum
EP
IPC
B81C1/00B81B3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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