Reinigungsmittel, Reinigungs- und Herstellungsverfahren für Halbleiterscheiben

EP1572856 Art B1 13. Februar 2008

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1572856
Aktenzeichen
EP03778777
Anmeldetag
10. Dezember 2003
Veröffentlichung
13. Februar 2008
Erteilung
13. Februar 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C11D11/00C11D1/722C11D3/30H01L21/302H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Showa Denko K.K.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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