Vorrichtung und Verfahren zur Messung Lichtintensitäten im Ultraviolett (uv)
Anmelder: Axcelis Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1573286
- Aktenzeichen
- EP03797024
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 14. September 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J3/51G01J1/04G01J1/42G11C16/18H01L21/336
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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