Eine Haftschicht Umfassende Mikrostruktur und Verfahren zur Herstellung einer Solchen Mikrostruktur

EP1573399 Art B1 5. Juli 2006

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1573399
Aktenzeichen
EP03799622
Anmeldetag
18. Dezember 2003
Veröffentlichung
5. Juli 2006
Erteilung
5. Juli 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/095G03F7/00B81B1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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