System und Verfahren zur Steuerung von Plasma mit einer Einstellbaren Kopplung an Massekreis
EP1573795
Art B1
15. Februar 2017
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1573795
- Aktenzeichen
- EP03814023
- Anmeldetag
- 17. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 15. Februar 2017
- Erteilung
- 15. Februar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Browne, Robin Forsythe
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