Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung von Verschiebungen einer Mehrheit von Mikro- und Nanomechanischen Bauelementen, wie Mikrocantilevern.

EP1575058 Art A1 14. September 2005

Anmelder: CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1575058
Aktenzeichen
EP04381004
Anmeldetag
8. März 2004
Veröffentlichung
14. September 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G12B21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS
Land
🇪🇸 Spanien
🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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