Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Substraten

EP1575078 Art A1 14. September 2005

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1575078
Aktenzeichen: EP05005020
Anmeldetag: 8. März 2005
Veröffentlichung: 14. September 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C14/38C23C14/56C23C14/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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