Verfahren zur Herstellung einer selbstjustierten Germanide-Struktur

EP1575082 Art A3 31. Mai 2006

Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1575082
Aktenzeichen
EP04447208
Anmeldetag
24. September 2004
Veröffentlichung
31. Mai 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3213H01L21/28H01L21/335H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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