Lithografieverfahren durch Pressen eines Substrats in einem Nanoimprint-Prozess
Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1576420
- Aktenzeichen
- EP03799684
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2006
- Erteilung
- 4. Oktober 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00B29C59/02B81C1/00G03F7/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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