Verfahern zur Mikroherstellung von Strukturen unter Verwendung von Silizium-Auf-Isolator-Material
Anmelder: THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1576650
- Aktenzeichen
- EP03754388
- Anmeldetag
- 15. August 2003
- Veröffentlichung
- 21. September 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C3/00B81C1/00
Abstract
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Anmelder
- Firma
- THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
Das Charles Stark Draper Laboratory ist eine gemeinnützige US-amerikanische Forschungseinrichtung mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, spezialisiert auf Navigations-, Sensor- und Biotechnologie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Medizintechnik, ergänzt durch Pharma- und Halbleitertechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.
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