Wegwerf-Fluidtrenneinrichtung und Verteilersystem mit leichter Austauschmöglichkeit
EP1576997
Art B1
13. April 2011
Anmelder: ENTEGRIS, INC., Mykrolis Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1576997
- Aktenzeichen
- EP05076401
- Anmeldetag
- 28. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 13. April 2011
- Erteilung
- 13. April 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D35/02B01D35/153B01D27/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS, INC.
Mykrolis Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
Greenwood, John David
Sevenoaks, Großbritannien
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