Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke eines dünnen Films auf einem Substrat
EP1577636
Art B1
2. Dezember 2009
Anmelder: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1577636
- Aktenzeichen
- EP05003910
- Anmeldetag
- 23. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 2. Dezember 2009
- Erteilung
- 2. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/06H01L21/00H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Dainippon Screen Mfg
Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.
275 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kilian, Helmut
München, Deutschland
701
Patente gesamt
30
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte