Verfahren und Vorrichtung zur Echtzeitregelung einer Zusammensetzung von einem lithographischen Verfahren mittels Nahinfrarot Spektrometer
EP1577662
Art B1
6. Mai 2009
Anmelder: Dongjin Semichem Co., Ltd. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1577662
- Aktenzeichen
- EP05005309
- Anmeldetag
- 10. März 2005
- Veröffentlichung
- 6. Mai 2009
- Erteilung
- 6. Mai 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/35G03F7/42H01L21/00H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Dongjin Semichem Co., Ltd.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Dongjin Semichem
Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
456 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Merkle, Gebhard
München, Deutschland
721
Patente gesamt
32
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte