Objektiv mit wenigstens einem optischen Element

EP1577693 Art B1 13. Juli 2011

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1577693
Aktenzeichen
EP05002562
Anmeldetag
8. Februar 2005
Veröffentlichung
13. Juli 2011
Erteilung
13. Juli 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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