Beschichtungsvorrichtung und Herstellungsverfahren für Beschichtungsfilm

EP1577930 Art A1 21. September 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1577930
Aktenzeichen: EP03780822
Anmeldetag: 17. Dezember 2003
Veröffentlichung: 21. September 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027H01L21/67B05C11/08G03F7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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