Verfahren Undvorrichtung zur Überwachung von Teilen in einem Materialverarbeitungssystem

EP1579280 Art A2 28. September 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1579280
Aktenzeichen: EP03813967
Anmeldetag: 25. November 2003
Veröffentlichung: 28. September 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418H01L21/00G06K19/07

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von