Verfahren und Gerät für gepulste Magnetron Kathodenzerstäubung
EP1580298
Art A1
28. September 2005
Anmelder: Materia Nova A.S.B.L, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, Université de Paris-Sud 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1580298
- Aktenzeichen
- EP04447072
- Anmeldetag
- 22. März 2004
- Veröffentlichung
- 28. September 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/35H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Materia Nova A.S.B.L
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
Université de Paris-Sud - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Vertreten von
Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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