Magnetlagerung und Turbomolekularpumpe mit dieser Lagerung
EP1580436
Art A3
6. September 2006
Anmelder: Edwards Japan Limited, BOC Edwards Japan Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1580436
- Aktenzeichen
- EP05251853
- Anmeldetag
- 24. März 2005
- Veröffentlichung
- 6. September 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F16C39/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Edwards Japan Limited
BOC Edwards Japan Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Edwards Japan
Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.
290 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Cloughley, Peter Andrew
London, Großbritannien
836
Patente gesamt
32
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte