Verfahren zum Präparieren einer Siliziumoxidschicht durch Oxidation bei hohe Temperatur auf einem Substrat mit einer Silizium-Germanium Oberfläche
EP1580805
Art B1
19. Juni 2013
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1580805
- Aktenzeichen
- EP05102319
- Anmeldetag
- 23. März 2005
- Veröffentlichung
- 19. Juni 2013
- Erteilung
- 19. Juni 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/20H01L21/316H01L21/762
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
5.929 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Ahner, Philippe
Paris La Défense, Frankreich
884
Patente gesamt
33
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Poulin, Gérard
NoneParis