Verfahren zum Präparieren einer Siliziumoxidschicht durch Oxidation bei hohe Temperatur auf einem Substrat mit einer Silizium-Germanium Oberfläche

EP1580805 Art B1 19. Juni 2013

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1580805
Aktenzeichen
EP05102319
Anmeldetag
23. März 2005
Veröffentlichung
19. Juni 2013
Erteilung
19. Juni 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/20H01L21/316H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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