Ein Verfahren und eine Vorrichtung um ein Materialherstellungssystem zu Überwachen

EP1581964 Art A2 5. Oktober 2005

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1581964
Aktenzeichen: EP03808330
Anmeldetag: 25. November 2003
Veröffentlichung: 5. Oktober 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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