Porogen-Ausbrennverfahren nach Cmp (chemisch-Mechanisches Polieren)
EP1581969
Art A1
5. Oktober 2005
Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1581969
- Aktenzeichen
- EP03774675
- Anmeldetag
- 9. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 5. Oktober 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L23/58H01L23/48H01L23/52H01L21/00H01L21/4763H01L21/44H01L21/302H01L21/31
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- International Business Machines Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Ling, Christopher John
Winchester, Großbritannien
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